Les pompes à vide

Classifications

Pression	Zone de vide	Pompes efficaces	Applications typiques
1 bar  -> 100 mbar	Atmosphérique -> vide grossier	Éjecteur Venturi, anneau liquide	Industrie générale, procédés humides
100 mbar  -> 1 mbar	Vide primaire	Palettes rotatives, scroll, membrane, vis, griffes	Labo, chimie, pompage initial
1 mbar  -> 1.000 µ	Vide primaire poussé	Palettes + Roots, anneau liquide	Séchage, métallurgie, fours
1.000 µ  -> 10 µ	Transition primaire -> HV	Roots + primaire, amorçage turbo/diffusion	Amorçage haut vide, procédés plasma
10 µ  -> 1 µ	Haut vide initial	Turbomoléculaire (avec primaire), diffusion d’huile	Dépôts sous vide, analyses gaz
1 µ  -> 100 nB	Haut vide avancé	Turbo, diffusion, cryopompe	CVD, sputtering, microélectronique
100 nB  -> 1 nB	Ultra-haut vide	Turbo + ionique, cryopompe, sublimation Ti	Fusion, accélérateurs, synchrotrons
< 1 nB	Extrême / UHV	Pompe ionique, getter (NEG), sublimation Ti	UHV recherche, surface science

Plages de fonctionnement